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靈科超聲波

薄層厚度測量(一)

返回列表 來源: 發(fā)布日期: 2023.03.14

超聲波在水/薄層/基體組成的多界面結(jié)構(gòu)中傳播時(見圖8-1),若超聲波脈沖寬度大于超聲波在薄層中往返一次的傳播時間,則薄層/基體界面處的反射波與水/薄層界面處的反射波在時域上發(fā)生混疊,此時利用傳統(tǒng)時域方法對薄層厚度進(jìn)行測量存在困難。



實際上,時域信號的混疊會引起寬頻信號中特定頻率下的信號發(fā)生干涉效應(yīng),根據(jù)這種干涉效應(yīng),可以在信號的頻域內(nèi)獲得薄層厚度和聲速的相關(guān)信息。目前,超聲波聲壓反射系數(shù)頻譜分析方法作為一種有效的表征薄層和涂層的手段,已經(jīng)被許多研究人員所采用。


層狀介質(zhì)聲壓反射系數(shù)V的幅度|V|和Φ相位的表達(dá)式:


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進(jìn)一步分析式(8-1)和式(8-2),發(fā)現(xiàn)當(dāng)03,即04 時,|V|取得一系列極小值,而Φ值為零,對應(yīng)的頻率值稱為諧振頻率,以05 表示:


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式中,07表示相鄰諧振頻率間的差值。


在利用幅度譜或相位譜讀取諧振頻率或相鄰諧振頻率間隔的基礎(chǔ)上,可在薄層縱波聲速08已知的條件下,求得薄層厚度。此處以鋁基體上涂覆平均厚度為277μm的環(huán)氧樹脂層和GH33基體上用EBPVD法制備的平均厚度為148μm的ZrO2 -7%Y2O3 (YSZ)涂層為例,分別給出利用超聲波聲壓反射系數(shù)幅度譜和相位譜進(jìn)行涂層厚度測量的結(jié)果。



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